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X射线膜厚测试仪是一种操作方便，维护成本极低的镀层检测仪器，检测精度比其他原理的测厚仪要高的多。
X射线膜厚测试仪含下列主要部件：
(1)微焦斑X光管
(2)大面积SDD电制冷半导体探测器
(3)数字多道分析器
(4)超高精度三维移动平台
(5)全景和局部两个工业高清摄像头
(6)高低压电源
(7)激光定位装置及图像自动对焦技术
(8)开放式样品腔及铅玻璃屏蔽罩
(9)电动调节准直器
(10)防撞激光保护器
资料：仪器使用说明书（包括软件操作说明书和硬件使用说明书）、出厂检验合格证明、装箱单、保修单及其它应提供资料各一份。
标准附件
准直孔：0.3×0.05mm、Ф0.1mm、Ф0.2mm与Ф0.3mm四种（已内置于仪器中）
X射线膜厚测试仪性能：
满足各种不同厚度样品以及不规则表面样品的测试需求
φ0.1mm的小孔准直器可以满足微小测试点的需求
高精度移动平台可精确定位测试点，重复定位精度小于0.005mm
采用高度定位激光，可自动定位测试高度
定位激光确定定位光斑，确保测试点与光斑对齐
鼠标可控制移动平台，鼠标点击的位置就是被测点
高分辨率探头使分析结果更加精准
良好的射线屏蔽作用
